减少空气压力，降低水和其他的沸点，从而加速蒸发。在大多数情况下，剩余的部分保留水分的量是比较小的。成功应用通常涉及呈现设备的一部分，已经干燥到其他的限制，更为传统，通常成本更低的技术。

　　 首先要知道的是，有更多的真空干燥不仅仅是放置零件在真空室。在真空干燥，蒸发冷却的效果被放大，不仅是蒸发的速率大大增加，但是，在一个真空的，没有空气传导和传递热的表面干燥。几乎无一例外，热源必须用来克服真空干燥蒸发冷却效果的提高。ZPG型真空耙式干燥机在大多数情况下，所需的热量是在以热辐射的形式在真空室或加热器采用外部手段加热室提供。一些设备甚至有加热的货架上部分可以放置。

　　 如上所述，应用的情况下，水必须从较小的表面特征，其中可能包括深毛细管空间提取。但是，即使真空加热，彻底干燥需要时间。这是真正的特别情况下，如在毛细管，没有暴露的表面可以互动。